3M™ Novec™ Engineered Fluids

최근 몇 년 동안 HFE 유체는 반도체 건식 에칭 부품의 습식 세척에 매우 효과적인 것으로 입증되었습니다. 세척 속도와 유리한 안전 및 환경 프로필로 인해 유전체 필름의 건식 에칭 중에 형성된 불소 중합체 침전물을 세척하기 위해 IPA 및 아세톤과 같은 기존 용매를 대체하는 데 자주 사용됩니다. 이러한 고급 불연성 재료는 챔버의 와이프 세척 및 부품 세척 욕조에 유용합니다.

HFE 유체의 낮은 표면 장력은 기존 용매보다 더 큰 침투를 허용하여 금속 또는 비금속 부품에서 뛰어난 세척 성능을 제공합니다. HFE 유체의 높은 세척 효율은 추가적인 기계적 힘, 열 또는 교반을 필요로 하지 않을 수 있지만 스크러빙 및 초음파를 사용하여 매우 완고한 침전물을 제거하거나 세척 시간을 단축하는 데 도움이 될 수 있습니다.

Novec HFE Solvent cleaning 용도와 시장

HFE Fluids는 하드 디스크 드라이브 산업의 까다로운 세척 요구 사항을 충족하는 데 탁월합니다. 이러한 유체는 MR 헤드, HGA, 서스펜션 및 미디어를 포함한 드라이브의 여러 부분에서 가벼운 오일과 입자를 세척하는 데 사용됩니다.

HFE 유체는 전자 제조 시설 전반에 걸쳐 발견되는 중요한 구성 요소를 손으로 닦는 동안 미세한 입자를 제거하는 데 매우 좋습니다. 용매는 빠르고 완벽하게 증발하여 잔류물을 남기지 않습니다. 비반응성, 매우 안정적이며 불연성이기 때문에 캐리어 용매와 세척제로 모두 사용할 수 있습니다.

금속	알루미늄, 동, 염소강, 스테인레스, 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐
플라스틱	아크릴, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보이네트, 폴리에스테르, 에폭시, PMMA, PET, ABS, PTFE
고무	부틸고무, 천연고무, 니트릴고무, EPDM

	Water	Novec 7100	Novec 7200	Novec 7300	Novec 7500
Surface tension (dynes/cm)	73	13.6	13.6	15	16.2

특성	단위	Novec 7000	Novec 7100	Novec 7200	Novec 7300	Novec 7500
끓는점	(°C)	34	61	76	98	128
유동점	(°C)	-122	-135	-138	-38	-100
밀도	(kg/m³)	1400	1510	1420	1660	1614
동점도	(cST)	0.32	0.38	0.41	0.71	0.77
절연력	KV (2.54mmGAP)	>25	>25	>25	>25	>25
비저항	(Ohm-cm)	10⁸	10⁸	10⁸	10¹¹	10⁸